检测升降式烧结炉的炉衬厚度的三种方法

更新时间：2019-06-25 点击次数：1321

升降式烧结炉主要用于半导体元器件及电力整流器件的烧结工艺，可进行真空烧结，气体保护烧结及常规烧结。是半导体设备系列中一种新颖的工艺装备，它设计构思新颖，操作方便，结构紧凑，在一台设备上可完成多个工艺流程。亦可用于其他领域内的真空热处理，真空钎焊等工艺。

　　升降式烧结炉炉衬是个比较重要的部分，烧结炉的质量的好坏和厚薄对于电炉的使用有比较大的影响。炉衬是指用于对金属进行精炼的炉子的炉壁，使用耐高温陶瓷制成。烧结炉炉衬的使用寿命直接影响了烧结炉的整体使用寿命。

　　检测 升降式烧结炉的炉衬厚度有以下几种方法：

　　应力波法：应力波动信号对结构缺陷有很高的敏感性，当应力波在介质传播时，如遇到孔洞、裂纹等界面不连续处，就会发生反射、折射、散射和模式转换，利用应力波的特性可以确定冷却壁材料的厚度。

　　电容法：电容法与电阻法类似，在炉衬内部埋设同轴圆形电容器传感器，电容值与其长度成对应关系，可以通过测量电容值来确定高炉砌体的厚度。通过这些方法，对炉衬的一些基本数据和性能有了初步的判断和坚定，对电炉的大体的工作状况有些概括的了解。

　　电阻法：是在 升降式烧结炉炉衬内部埋设电阻元件，传感器前端与炉衬内表面对齐，通过引线与测量系统相连接，电阻元件的电阻值与其长度相关，随着电阻元件与炉衬同步损耗，电阻会变化，利用相应的测量仪表测得元件输出的电信号，即可在线测量炉衬的剩余厚度。